静电式微扫描镜的角度检测电路

摘要

一种静电式微扫描镜的角度检测电路，包括一电容值感测单元、一低通滤波放大单元及一角度判断单元。电容值感测单元耦接静电式微扫描镜的一镜面电极，用以感测静电式微扫描镜的等效电容值且提供一电容感测信号。低通滤波放大单元耦接电容值感测单元以接收电容感测信号，且提供一位置信号。角度判断单元耦接低通滤波放大单元以接收位置信号，以判断静电式微扫描镜的镜面电极的一转动角度且提供一角度信号。

主权项

一种检测电路，用以检测静电式微扫描镜的角度，包括：一电容值感测单元，耦接该静电式微扫描镜的一镜面电极，用以感测该静电式微扫描镜的等效电容值且提供一电容感测信号；一低通滤波放大单元，耦接该电容值感测单元以接收该电容感测信号，且提供一位置信号；以及一角度判断单元，耦接该低通滤波放大单元并接收该位置信号，以判断该静电式微扫描镜的该镜面电极的一转动角度且提供一角度信号。