| 发明名称 | 一种用于提高理论光谱数据库创建速度的方法及装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种用于提高理论光谱数据库创建速度的方法及装置，其中，方法包括：获取光学关键尺寸模型在每个波长点处与多个不同划分面积差对应的光谱数据；对所获取的在每个波长点处与多个不同划分面积差对应的光谱数据进行收敛分析，来确定该光学关键尺寸模型满足预定收敛条件的最优划分面积差；根据该光学关键尺寸模型的最优划分面积差计算光谱数据，来建立所述光学关键尺寸模型的理论光谱数据库。本发明在保证计算精度的前提下，减少了OCD模型的划分层数，从而提高理论光谱数据库的创建速度。 | ||
| 申请公布号 | CN104750748A | 申请公布日期 | 2015.07.01 |
| 申请号 | CN201310751023.1 | 申请日期 | 2013.12.31 |
| 申请人 | 睿励科学仪器（上海）有限公司 | 发明人 | 张振生;徐益平;施耀明;刘志钧;王鑫;黄鲲 |
| 分类号 | G06F17/30(2006.01)I | 主分类号 | G06F17/30(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11370 | 代理人 | 罗朋;周建华 |
| 主权项 | 一种用于提高理论光谱数据库创建速度的方法，其中，包括：a．获取光学关键尺寸模型在每个波长点处与多个不同划分面积差对应的光谱数据；b．对所获取的在每个波长点处与多个不同划分面积差对应的光谱数据进行收敛分析，来确定该光学关键尺寸模型满足预定收敛条件的最优划分面积差；c．根据该光学关键尺寸模型的最优划分面积差计算光谱数据，来建立所述光学关键尺寸模型的理论光谱数据库。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区华佗路68号6幢 | ||