一种自行式平面三自由度压电驱动平台

摘要

本发明公开了一种自行式平面三自由度压电驱动平台，包括驱动元件、动平台和静平台。所述驱动元件包括4个直线运动压电驱动器，每个驱动器在其对称中心均设有通孔；所述动平台为侧面中心设置有螺纹孔的正方形平板，4个联接螺栓通过螺纹孔配合将4个直线运动压电驱动器分别联接在动平台的四个侧面；所述静平台依据驱动器的性能参数制定，作为驱动器的工作平面。对直线运动压电驱动器施加特定的激励信号可实现双向直线运动；通过组合4个压电叠堆驱动器的直线运动，可实现平台在平面内的二自由度直线运动和绕轴线的旋转运动。本发明构建的平面三自由度驱动平台，具有结构简单、精度高、行程大、负载高等优点。

主权项

一种自行式平面三自由度压电驱动平台，其特征在于：包括驱动元件、动平台（8）以及静平台（7）；所述驱动元件包括若干个直线运动压电驱动器（9），直线运动压电驱动器（9）放置在静平台（7）上，且所述直线运动压电驱动器（9）成对对称设置；所述动平台（8）固定连接在直线运动压电驱动器（9）的中间位置，静平台（7）依据驱动器的性能参数制定，作为直线运动压驱动器（9）的工作平面。