用于真空手套箱移动旋转平台的传动密封装置

摘要

本实用新型公开了一种用于真空手套箱移动旋转平台的传动密封装置，所述传动密封装置通过联轴器与伺服电机连接，驱动与所述传动密封装置连接的移动旋转平台运动，所述传动密封装置包括上表面具有一定坡度的偏心轴承座、焊接波纹管、曲轴、壳体、壳体法兰、多个深沟球轴承、密封垫、托盘法兰、传动销轴、推力球轴承、和真空法兰，在保证密封效果的同时，通过伺服电机驱动角度轴承座旋转运动同时带动曲轴和焊接波纹管一起作偏摆旋转运动，促使传动销旋转，再配合推力球轴承，实现平台旋转和移动。

主权项

一种用于真空手套箱旋转平台的传动密封装置，所述传动密封装置通过联轴器(5)与伺服电机连接，驱动与所述传动密封装置连接的移动旋转平台(2)偏摆旋转运动，其特征在于，所述传动密封装置包括上表面具有一定坡度的偏心轴承座(309)、焊接波纹管(303)、曲轴(304)、壳体(306)、壳体法兰(305)、多个深沟球轴承、密封垫(301)、托盘法兰(201)、传动销轴(203)、推力球轴承(202)、和真空法兰(204)，所述曲轴(304)一端通过偏心轴承座(309)与所述联轴器(5)连接，另一端通过传动销轴(203)与托盘法兰(201)连接；所述焊接波纹管(303)套装在所述曲轴(304)外侧下部，所述壳体(306)设置在所述偏心轴承座(309)与所述焊接波纹管(303)外部并与所述壳体法兰(305)通过螺栓连接；所述真空法兰(204)套装在所述托盘法兰(201)与曲轴(304)连接部外侧，所述真空法兰(204)一端与所述壳体法兰(305)通过螺栓连接，另一端固定在内部设置有移动旋转平台(2)的真空腔(1)侧壁上，所述真空法兰(204)与所述壳体法兰(305)之间设置有密封垫(301)，所述托盘法兰(201)伸入所述真空腔(1)内部并与所述移动旋转平台(2)连接，所述托盘法兰(201)与所述真空腔(1)内壁接合处设置有随托盘法兰(201)上下运动的推力球轴承(202)；在所述偏心轴承座(309)与所述联轴器(5)之间、所述偏心轴承座(309)与所述曲轴(304)之间、所述曲轴(304)与所述焊接波纹管(303)之间、所述曲轴(304)与所述壳体法兰(305)之间的均设置有至少一个深沟球轴承，使所述曲轴(304)通过伺服电机驱动而作旋转偏摆运动。