压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备、电波钟及压电振动片的制造方法

摘要

本发明提供可极力减小蚀刻残余量的偏差并能使振动泄漏对特性的影响非常小的高质量的压电振动片。提供一种压电振动片(1)，其中包括压电板(2)和激振电极(10、11)，该压电板(2)具有以沿着中心轴(C)延伸的方式形成的振动部(3)和支撑该振动部的基端部的基部(4)，该激振电极(10、11)形成在振动部的外表面上，在被施加电压时使振动部振动，基部包括：形成有装配电极(12、13)的装配部(4a)，以及中间部(4b)，以位于该装配部和振动部之间的方式连接设置于两者上，并形成有连接激振电极和装配电极的引出电极(14)，装配部的横宽大于中间部的横宽，从平面上看时在装配部和中间部的台阶部中，装配部的侧面和中间部的侧面通过相对于中心轴倾斜的倾斜面(4c)连接设置。

主权项

一种压电振动片，其特征在于，包括从圆片切断而小片化所形成的压电板和激振电极，该压电板包括以沿着中心轴延伸的方式形成的振动部和支撑该振动部的基端部的基部，该激振电极形成在振动部的外表面上，并在被施加电压时使振动部振动，所述基部包括：在外表面形成有装配电极的装配部；以及中间部，该中间部以位于该装配部与所述振动部之间的方式连接设置于两者上，并在外表面形成有连接所述激振电极和所述装配电极的引出电极，所述装配部的横宽大于所述中间部的横宽，所述压电振动片构成为：从平面上看时在装配部和中间部的台阶部中，所述装配部的侧面和所述中间部的侧面通过相对于所述中心轴以容易沿着所述圆片的结晶方向的方式倾斜的倾斜面连接设置，从而减小振动泄漏对特性的影响。