测长装置直交度补偿方法及使用该方法的测长装置

摘要

本发明提供一种测长装置直交度补偿方法及使用该方法的测长装置，所述方法包括以下步骤：步骤1、提供测量机台及数个对位标记，所述测量机台包括机架、安装于机架上的矩形测量平台、设于测量平台上方的测定显微镜及安装于机架上且连接测定显微镜的激光器；步骤2、将对位标记安装于测量平台上，并记录该些对位标记对应测量平台坐标系的坐标，以作为参考坐标值；步骤3、通过测定显微镜读取该些对位标记对应测量平台坐标系的实际坐标值，并将该实际坐标值与参考坐标值进行对比；步骤4、如果实际坐标值与参考坐标值之间存在偏差，补正该实际坐标值，使得该实际坐标值等于参考坐标值。

主权项

一种测长装置直交度补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、提供测量机台及数个对位标记，所述测量机台包括机架、安装于机架上的矩形测量平台、设于测量平台上方的测定显微镜及安装于机架上且连接测定显微镜的激光器；步骤2、将对位标记安装于测量平台上，并记录该些对位标记对应测量平台坐标系的坐标，以作为参考坐标值；步骤3、通过测定显微镜读取该些对位标记对应测量平台坐标系的实际坐标值，并将该实际坐标值与参考坐标值进行对比；步骤4、如果实际坐标值与参考坐标值之间存在偏差，补正该实际坐标值，使得该实际坐标值等于参考坐标值；所述步骤1提供的对位标记为四个，分别安装于测量平台的四个角落位置。