一种铝基碳化硅复合材料表面镀层制备方法

摘要

本发明提供一种铝基碳化硅复合材料表面镀层制备方法，该方法是将铝基碳化硅复合材料构件置于真空炉内，抽真空，接通直流电源，在构件与真空室壳体之间加上负偏压，充氩产生辉光放电轰击构件进行净化处理，清除表面氧化膜和吸附物；接通弧光电源，磁控电弧蒸发Ni-Cu合金靶材，在电场作用下靶材粒子加速沉积在构件表面，形成均匀的Ni-Cu合金层；关闭弧光电源和直流电源，氩气保护降温后出炉。采用这种方法，由于离子轰击预处理可使铝基碳化硅复合材料达到洁净表面，加之沉积粒子在电场下的加速作用以及粒子对基材表面的轰击作用，从而使Ni-Cu合金镀层与铝基碳化硅复合材料表面形成牢固的结合。

主权项

一种铝基碳化硅复合材料表面镀层制备方法，其特征在于，选择长、宽、厚尺寸为150mm×30mm×8mm的铝基碳化硅复合材料板材，在其表面离子镀一层Ni75%‑Cu25%合金膜的工艺步骤为：第一步、按Ni：Cu= 75%：25%重量百分比冶炼制作Ni‑Cu合金靶材；将Ni75%‑Cu25%合金靶材和铝基碳化硅复合材料板材置于离子镀膜真空室内，抽真空至0.001Pa；第二步、接通直流电源，在铝基碳化硅复合材料板材与真空室壳体之间加上350V负偏压，通氩气至28Pa，产生辉光放电，等离子轰击板材表面进行净化处理，清除板材表面的氧化膜和吸附物，时间4min；第三步、接通弧光电源，在Ni75%‑Cu25%合金靶材表面产生弧光放电，单靶工作电流为60A，并将负偏压调至500V；磁控电弧发射的靶材粒子在电场作用下，沉积在铝基碳化硅复合材料板材表面，形成均匀的镀覆层，时间60min；第四步、关闭弧光电源和直流电源，氩气保护降温后出炉。