修正装置

摘要

本发明公开一种修正装置，其对于试样的损伤较小，在长时间内稳定且效率良好地进行遮罩等的细微部位的修正。修正装置(10)具备：气体电场电离离子源，其具有锐化的针尖；冷却机构，其冷却针尖；离子束镜筒(11)，其使在气体电场电离离子源产生的气体的离子集束，形成集束离子束；试样工作台(15)，其设置经透过离子束镜筒(11)形成的集束离子束照射的试样，并可以移动；试样室(13)，其内置试样工作台(15)；以及控制部(20)，其透过集束离子束修正作为试样的遮罩(14)或奈米压印微影的模具。气体电场电离离子源以氮作为离子，并具备利用铱单晶所构成的针尖，该铱单晶具有可以产生离子的单一的顶点。