| 发明名称 | 一种VDMOS的 PN结用染色溶液及其使用方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种VDMOS的PN结用染色溶液，所述染色溶液的含有硝酸和BOE两种组分，质量比为：硝酸：BOE=1：12～18；所述BOE为NH<sub>4</sub>F：HF按1：6的质量比混合而成的溶液，NH<sub>4</sub>F的质量浓度是40%，HF的质量浓度为49%。本发明配方针对VDMOS的PN结设计出优质的染色溶液配方，染色时既快速又经济，染色是PN结结深清楚、界限清晰，且所有掺杂结构的结深可以在一张图片中获得。 | ||
| 申请公布号 | CN104745195A | 申请公布日期 | 2015.07.01 |
| 申请号 | CN201310750599.6 | 申请日期 | 2013.12.31 |
| 申请人 | 苏州同冠微电子有限公司 | 发明人 | 宋耀德 |
| 分类号 | C09K13/08(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | C09K13/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人 | 金辉 |
| 主权项 | 一种VDMOS的PN结用染色溶液，其特征在于：所述染色溶液的含有硝酸和BOE两种组分，质量比为：硝酸：BOE=1：12～18；所述BOE为NH<sub>4</sub>F：HF按1：6的质量比混合而成的溶液，NH<sub>4</sub>F的质量浓度是40%，HF的质量浓度为49%。 | ||
| 地址 | 江苏省苏州市张家港市塘市开发区南园路 | ||