发明名称 |
存储器件及其形成方法 |
摘要 |
一种存储器件及其形成方法,其中,存储器件的形成方法包括:提供表面具有存储单元的衬底,存储单元包括:第一介质层、浮栅层、第二介质层、控制栅层和第一掩膜层;在存储单元的侧壁表面形成第二掩膜层,第二掩膜层覆盖第一介质层、浮栅层和第二介质层的侧壁、以及控制栅层靠近浮栅层的部分侧壁;以第一掩膜层和第二掩膜层为掩膜,去除部分控制栅层,使暴露出的部分控制栅层平行于衬底表面方向的尺寸缩小;在去除部分控制栅层之后,以第一掩膜层和第二掩膜层为掩膜,采用自对准硅化工艺在暴露出的控制栅层侧壁表面、以及暴露出的衬底表面形成电接触层。所形成的存储器件性能改善。 |
申请公布号 |
CN104752434A |
申请公布日期 |
2015.07.01 |
申请号 |
CN201310745799.2 |
申请日期 |
2013.12.30 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
洪中山;杨芸 |
分类号 |
H01L27/115(2006.01)I;H01L21/8247(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/115(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
骆苏华 |
主权项 |
一种存储器件的形成方法,其特征在于,包括:提供衬底,所述衬底表面具有存储单元,所述存储单元包括:位于衬底表面的第一介质层、位于第一介质层表面的浮栅层、位于浮栅层表面的第二介质层、位于第二介质层表面的控制栅层、以及位于控制栅层表面的第一掩膜层;在所述存储单元的侧壁表面形成第二掩膜层,所述第二掩膜层覆盖第一介质层、浮栅层和第二介质层的侧壁、以及控制栅层靠近浮栅层的部分侧壁;以第一掩膜层和第二掩膜层为掩膜,去除部分控制栅层,使暴露出的部分控制栅层平行于衬底表面方向的尺寸缩小;在去除部分控制栅层之后,以所述第一掩膜层和第二掩膜层为掩膜,采用自对准硅化工艺在暴露出的控制栅层侧壁表面、以及暴露出的衬底表面形成电接触层;在所述衬底、存储单元和第二掩膜层表面形成阻挡层、以及位于所述阻挡层表面的第三介质层,所述第三介质层和阻挡层内具有开口,所述开口至少暴露出衬底表面的电接触层;在所述开口内形成导电结构。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江路18号 |