| 发明名称 | 工艺流程建立的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提出了一种工艺流程建立的方法，将具有相同制程和功能的工艺步骤划分至同一流程模块中，在对工艺流程建立时，相同的工艺步骤便可通过调用某一流程模块即可，无需按照工艺步骤一一形成，若对某一工艺步骤进行修改时，只需对相应的工艺模块进行修改即可完成对所有相同的工艺步骤的修改，从而能够快速简单的建立起工艺流程，避免工艺流程建立出现差错。 | ||
| 申请公布号 | CN104752150A | 申请公布日期 | 2015.07.01 |
| 申请号 | CN201310739300.7 | 申请日期 | 2013.12.27 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 卞邦芬;许亮 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种工艺流程建立的方法，包括步骤：建立流程模块，将具有相同制程和功能的工艺步骤划分至同一流程模块中；对流程模块进行调用，建立工艺流程。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||