基于凸轮机构的可调输出位移的直线微马达

摘要

本发明涉及一种基于凸轮机构的可调输出位移的直线微马达，包括驱动装置、传动装置和输出装置，所述各装置均由MEMS表面工艺制成；所述驱动装置为右侧和上侧两个电热驱动装置，所述传动装置为右侧推齿和上侧推齿受控啮合一个棘齿轮构成；所述传动装置由棘齿轮经一个齿条滑槽和凸轮顶推一叉子型推杆构成；所述两个电热驱动装置驱动两个推齿而驱动棘齿轮作顺时针和逆时针往复转动，棘齿轮经齿条滑槽和凸轮推动叉子型推杆作左右往复直线运动。本发明具有与集成电路制造工艺相兼容、输出位移大、实用性强，易于调节控制输出位移、可测试静态特性等优点。

主权项

一种基于凸轮机构的可调输出位移的直线微马达，包括驱动装置、传动装置和输出装置，其特征在于：所述各装置均由MEMS表面工艺制成；所述驱动装置为右侧和上侧两个电热驱动装置，所述传动装置为右侧推齿(3)和上侧推齿(8)受控啮合一个棘齿轮(11)构成；所述输出装置由棘齿轮(11)经一个齿条滑槽(14)和凸轮(15)顶推一叉子型推杆(16)构成；所述两个电热驱动装置驱动两个推齿(3、8)而驱动棘齿轮(11)作顺时针和逆时针往复转动，棘齿轮(11)经齿条滑槽(14)和凸轮(15)推动叉子型推杆(16)作左右往复直线运动；所述右侧电热驱动装置是：上下两个由六个V型电热硅微致动器并列而成的电热致动器阵列(1)和一个由三个V型电热硅微致动器并列而成的右侧啮合控制器(2)联接所述右侧推齿(3)，所述上下两个电热致动器阵列(1)和右侧啮合控制器(2)的两端分别连接三个正电极(4a、4c、5a)和三个负电极(4b、4d、5b)；所述上侧电热驱动装置是：一个由六个V型电热硅微致动器并列而成的左侧电热致动器阵列(6)和一个由三个V型电热硅微致动器并列而成的上侧啮合控制器(7)联接所述上侧推齿(8)，所述左侧电热驱动器阵列(6)两极分别连接正电极(9a)和负电极(9b)，所述上侧啮合控制器(7)的两端分别连接正电极(10a)和负电极(10b)。