加工室;PROCESS CHAMBER

摘要

一种加工室，用于加工易氧化之工件。加工室包括加工仓、出料仓、密封件、抵挡件、取料件及储气腔。储气腔与加工仓连通。出料仓包括与加工仓连通之主体，及由主体之相对二侧向外凸伸形成之收容部及出料部。收容部之位置与出料部之位置相对应，并均与主体相连通。密封件包括密封部及装设于密封部上之密封阀。密封部活动且密封地收容于收容部内。抵挡件设于出料部远离收容部之一端并封盖出料部。取料件部份收容于主体中。取料件伸入加工仓内并将工件取出移至抵挡件上后，密封部朝向抵挡件移动至出料部中并抵持于工件上以隔离出料部与主体。