晶圆储存装置

主权项

一种晶圆储存装置，适用于供至少一盒体放置，并包含：一基座，界定出一存放空间；二输入平台单元，左右相邻地位于该存放空间，每一输入平台单元包括至少一输入平台；一输出平台单元，位于该等输入平台单元的一侧，并包括至少一输出平台；一输送通道，位于该等输入平台单元与该输出平台单元之间；及一装载平台单元，位于该输送通道下方，并包括至少一装载平台，该装载平台单元可承接来自于该等输入平台单元的该盒体。