| 主权项 |
一种基板载具，用以在一镀膜制程中承载至少一基板，该基板载具包括：一主框架(main frame)，其具有一上表面与一下表面，且该主框架具有至少一第一开口贯穿该主框架；一图案化遮罩层(patterned mask layer)，设置于该主框架之该上表面，其中该图案化遮罩层具有至少一第二开口对应该至少一第一开口，该第二开口的尺寸小于该第一开口的尺寸，该图案化遮罩层具有一承载面，且该第二开口的尺寸小于该基板的尺寸；以及复数个挡块(blocker)，设置于该图案化遮罩层之该承载面，其中各该挡块系分别沿着该第二开口之边缘设置，用以将该基板定位以对应于该第二开口；其中，当该基板载具承载该基板时，该基板系对应该第二开口而放置于该图案化遮罩层之该承载面，且该第二开口与该第一开口部分暴露出该基板。 |
