| 发明名称 |
剥离方法、及剥离液 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI490935 |
申请公布日期 |
2015.07.01 |
| 申请号 |
TW100110995 |
申请日期 |
2011.03.30 |
| 申请人 |
东京应化工业股份有限公司 |
发明人 |
田村弘毅;浅井隆宏;久保安通史;今井洋文;吉冈孝广 |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/67;C09K13/00 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼 |
| 主权项 |
一种剥离方法，系将藉由黏着剂被黏贴于设有在厚度方向贯通的贯通孔之支承板的基板，从该支承板剥离的剥离方法，其特征为：包含使剥离液经由上述贯通孔接触上述黏着剂，而将上述黏着剂溶解的步骤，上述黏着剂，系以烃树脂为黏着成分之黏着剂，上述剥离液，系黏度为1.3mPas以下，且对上述黏着剂之溶解速度为30nm/sec以上之烃系溶剂。 |
| 地址 |
日本 |
