| 发明名称 |
ELECTROSTATIC CLAMP, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING AN ELECTROSTATIC CLAMP |
| 摘要 |
<p>본 발명은 버얼들이 제공된 물질 층을 포함하는 리소그래피 장치에서 사용하기 위한 정전기 클램프 - 절연체 및/또는 유전 물질에 의해 둘러싸인 전극이 상기 버얼들 사이에 제공됨 -, 및 이러한 정전기 클램프를 제조하는 방법에 관한 것이다. 상기 정전기 클램프는 리소그래피 장치에서 대상물 지지체에 대해 대상물을 클램핑하는 데 사용될 수 있다.</p> |
| 申请公布号 |
KR101533014(B1) |
申请公布日期 |
2015.07.01 |
| 申请号 |
KR20107008658 |
申请日期 |
2008.09.19 |
| 申请人 |
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发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/027;H01L21/683;H01L21/687;H02N13/00 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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