| 摘要 |
<p>본 발명은, 전처리로서 다량의 물의 사용이나 배수 처리를 회피할 수 있음과 함께, 과불화물을 포함하는 가스 중의 고형분을 제거할 수 있어, 필터 등이 폐색되기 어려운 과불화물의 처리 장치 등을 제공한다. 장치 입구 배기 가스를 전처리하는 전처리 유닛(21)과, 장치 입구 배기 가스 및 물을 가열함과 함께, 촉매에 의하여 과불화물을 가수분해하여 산성 가스를 포함하는 분해 가스를 생성하는 가열 수단(제1 가열기(221), 제2 가열기(222))와, 가열 수단의 전단 및 후단에 배치되고, 장치 입구 배기 가스 및 물과 분해 가스 사이에서 열교환을 행하는 열교환기(231)와, 산 성분을 건식 제거하는 산 성분 제거 장치(232)를 구비하고, 전처리 유닛(21)은 장치 입구 배기 가스를 가열하여, 장치 입구 배기 가스에 포함되는 액체인 물을 증발시키는 입구 가열기(211)와, 장치 입구 배기 가스로부터 고형분을 제거하는 필터(212, 212a)를 구비하는 것을 특징으로 하는 과불화물의 처리 장치(2).</p> |
