| 摘要 |
<p>본 발명의 각종 양태는 스마트 도킹 스테이션과 관련된다. 스마트 도킹 스테이션은 센서 웨이퍼가 충전되고 데이터를 업로드 및 다운로드하게 하는 데이터 이송 및 전기 커넥션을 포함할 수 있다. 스마트 도킹 스테이션은 툴 위의 오프트랙 스토리지 위치에 위치될 수 있다. 이 위치는 자동화 물류 취급 시스템(AMHS)으로 하여금 센서 웨이퍼를 검색하고 이 센서 웨이퍼를 분석을 요하는 툴에 전달할 수 있게 한다. 센서 웨이퍼는 스마트 전방 개방 통합 포드(FOUP)에 저장될 수 있다. 이 요약은 조사자 또는 다른 독자가 기술적 설명의 주제를 신속히 확인할 수 있게 하는 요약을 요구하는 규칙에 순응하여 제공된다는 점에 주목한다. 이 요약은 특허 청구범위의 범위 또는 의미를 해석하거나 제한하는 용도로 사용되지 않는다는 점을 이해하여야 한다.</p> |
