光学辅助量测装置及应用该装置的量测方法

摘要

一种光学辅助量测装置包含一吸取单元及一承载单元。该吸取单元包括一本体、至少一贯穿设置于该本体的量测孔，及一设置于该本体内的气体流道。该量测孔具有形成于该本体表面且相反设置的一第一、二端口。该气体流道具有至少一形成于该本体表面邻近该第二端口处的吸取口，及至少一形成于该本体表面的抽气接口。该本体表面邻近该吸取口处形成一接触面。该承载单元包括一基板及至少一由该基板顶面向下凹陷形成的放置槽，该放置槽可用于放置该待测物。应用该装置的量测方法包含一准备步骤、一吸取步骤、一量测步骤及一脱离步骤。