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经营范围
发明名称
整合回焊与清洁的方法及设备
摘要
申请公布号
TWI490961
申请公布日期
2015.07.01
申请号
TW101135482
申请日期
2012.09.27
申请人
台湾积体电路制造股份有限公司
发明人
刘重希;黄见翎;张博平;黄英叡
分类号
H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项
一种整合回焊与清洁的方法,包括:在一输送带上于一回焊温度对一封装结构的一焊料区进行回焊;在一缓冲区内让该封装结构的温度保持在一缓冲温度,其中该缓冲温度低于该回焊温度,且该缓冲区包括一第一热箱设置在该输送带的一第一面,以及一第二热箱设置在该输送带的一第二面;以及在高于一室温的一清洁温度,于该封装结构上进行清洁,其中在该回焊步骤与该清洁步骤之间,该封装结构不会冷却至接近该室温的温度。
地址
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号
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