发明名称 集成有肖特基二极体的功率装置及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI491052 申请公布日期 2015.07.01
申请号 TW101130434 申请日期 2012.08.22
申请人 茂力科技股份有限公司 发明人 迪斯尼 唐纳德
分类号 H01L29/812;H01L29/40 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种功率装置,包括:半导体基底;功率电晶体,形成于该半导体基底中,其中该功率电晶体包括汲极区、源极区、闸极区以及耦接该汲极区的汲极金属;沟槽障壁,形成于该功率电晶体的汲极区中,其中该沟槽障壁包括第一沟槽和第二沟槽,该第一沟槽和第二沟槽由该汲极区的一部分隔开;以及肖特基二极体,形成于该第一沟槽和第二沟槽之间,其中该肖特基二极体具有阳极和阴极,该阳极包括该汲极金属,该阴极包括该汲极区的一部分;其中,该第一沟槽和第二沟槽采用导电材料填充,该导电材料透过介电材料与该功率电晶体的汲极区隔离,并且该第一沟槽和第二沟槽中填充的该导电材料与该汲极金属接触。
地址 美国