降低结露之蚀刻装置

主权项

一种降低结露之蚀刻装置，包括：一蚀刻腔室，具有一下电极；一缓冲区，设置在该蚀刻腔室下方；一流体输送管，一端连接一流体源，另一端穿越该缓冲区连接该蚀刻腔室之下电极；以及一第一氮气管，连接该缓冲区，输送氮气至该缓冲区。