密封装置;SEALING DEVICE

摘要

密封装置1具备由弹性材料所形成之环状密封部5。于密封部5之内周面形成：主唇部10，滑接于旋转轴S之外周面S1；及真空空间侧倾斜面11，从主唇部10往真空空间V侧逐渐扩径。于真空空间侧倾斜面11，沿着轴向形成复数条环状凸起20，此等环状凸起20于主唇部10滑接于旋转轴S之外周面S1之状态下，滑接于旋转轴S之外周面S1。