微机电元件、出平面传感器与微机电元件制作方法

摘要

本发明涉及一种微机电元件，包含：一质量块，其包括主质量部分和位于主质量部分两侧且与主质量部分连接的两电容板结构部份，其中该两电容板结构部份位于不同的高度；一上电极，位于该两电容板结构部份之一的上方，与其构成电容，以及一下电极，位于该两电容板结构部份的另一者的下方，与其构成另一电容，其中该上下电极在水平方向上错开。相应地，本发明还提供一种出平面传感器和微机电元件制作方法。

主权项

一种微机电元件，其特征在于，包含：一质量块，其包括主质量部分和位于主质量部分两侧且与主质量部分连接的两电容板结构部分，其中该两电容板结构部分位于不同的高度；一上电极，位于该两电容板结构部分之一的上方，与其构成电容，以及一下电极，位于该两电容板结构部分的另一者的下方，与其构成另一电容，其中该上、下电极在水平方向上错开；其中，该质量块至少其中一水平方向上的连续长度小于一预设长度，且其中该质量块与该上、下电极是以CMOS制程在同一晶圆上制作完成。