硏磨垫

主权项

一种研磨垫，包含具有研磨区域及透光区域之研磨层；该研磨垫之特征在于：前述透光区域包含位于垫表面侧之表层，及经积层在表层下之至少一层的软质层，且软质层之硬度比表层更低，其中表层之ASKER A硬度与软质层之ASKER A硬度之差为5度以上。