晶圆级摄像器之透镜板及其制造方法

主权项

一种透镜板之制造方法，其步骤系包含：涂布一第一材料于一工具上，该工具具有对应于所要形成之间隔物及透镜之复数个凹槽；设置一透明基板晶圆之一第一侧于该第一材料上；调整该透明基板晶圆之一位置以对应于由该第一材料所形成之该间隔物及该透镜以提供空间容纳该第一材料所形成之间隔物厚度及透镜厚度；以及固化该第一材料；其中涂布步骤包含将该第一材料涂布至由聚二甲基矽氧烷所制成之一工具中；由一金属主要工具以翻制一塑胶模，并翻制该塑胶模以形成由聚二甲基矽氧烷所制成之该工具。