| 主权项 |
一种抗蚀剂添加剂，由下式1表示：其中，R1和R2各自独立地为氢原子或C1-C8烷基，R3选自C1-C20亚烷基、C2-C20亚烯基、C1-C20杂亚烷基、C2-C20杂亚烯基、C3-C30环烷二基、C3-C30环烯二基、C2-C30杂环烷二基和C3-C30杂环烷二基，其中至少一个氢原子被选自C1-C10烷基、C1-C20卤代烷基和C3-C30环烷基中的一个基团取代或未被取代，R4是选自C1-C20卤代烷基中的疏水性基团，R5是选自、和中的酸不稳定基团，其中Ra、Rb、Rc和Rd各自独立地选自C1-C20烷基、C3-C30环烷基、(C1-C10烷基)环烷基、羟烷基、C1-C20烷氧基、(C1-C10烷氧基)烷基、乙醯基、乙醯烷基、羧基、(C1-C10烷基)羧基、(C3-C18环烷基)羧基和C3-C30杂环烷基中，或者Ra、Rb、Rc和Rd相邻基团之间稠合在一起形成C3-C30饱和或不饱和的烃环或C2-C30杂环基，p是0-3的整数，q是0-10的整数，l、m和n分别是主链中重复单元的数目，其中l+m+n=1，0<l/(l+m+n)<0.99，0<m/(l+m+n)0.99和0<n/(l+m+n)<0.20，以及o是1的整数。 |
