主权项 |
一种投射物镜,用于将设置在该投射物镜之一物件平面的一物件成像为该物件之位于该投射物镜之一影像平面的一影像,包含:多个透明光学元件以及多个支托装置,该些支托装置用于将该些光学元件支托在沿着该投射物镜之一成像光束路径的多个预定位置,该些光学元件之至少一具有位于该成像光束路径中的一光学用区以及位于该光学用区外的一边缘区,并且用于支托该光学元件之该支托装置之至少一支托元件作用于该边缘区之一接触区,其特征在于:该光学元件指派有一光圈配置,系具有直接设置在该光学元件上游之一第一杂光光圈以及直接设置在该光学元件下游之一第二杂光光圈,该些杂光光圈各形成为使得该杂光光圈对该边缘区之至少一部分筛选行进在该成像光束路径外的辐射。
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