一种测量薄膜材料热光系数的装置及方法

摘要

一种测量薄膜材料热光系数的装置及方法，属于测试技术领域，以便提供一种能够直接快速测量热光系数的装置和方法。包括工作台、光源、Y型光纤、反射频谱仪及计算机，Y型光纤的两个光纤臂分别与光源及反射频谱仪相连，反射频谱仪与计算机相连，还包括支撑架及加热单元，加热单元通过支撑架架设在工作台上，加热单元包括箱体，箱体中设有测试腔体，箱体上设有进气口和通光口，测试腔体中放置有加热板，Y型光纤的共同端位于通光口上方，通光口与加热板的位置相对应，还包括与测试腔体相接的温度控制器。通过非接触式测量能够在不破坏薄膜表面的情况下获得不同温度下薄膜的光学常数和透射率的连续谱线，测量精度高，适用于测量薄膜材料的热光系数。

主权项

一种测量薄膜材料热光系数的装置，包括薄膜分析仪，所述薄膜分析仪包括工作台(6)、光源(7)、Y型光纤(9)、反射频谱仪(10)及计算机(11)，Y型光纤(9)的两个光纤臂分别与光源(7)及反射频谱仪(10)相连，反射频谱仪(10)与计算机(11)相连，其特征在于，还包括支撑架及加热单元，所述加热单元通过支撑架架设在工作台(6)上，加热单元包括箱体，箱体中设有测试腔体，箱体上设有进气口(2)和通光口(5)，所述进气口(2)和通光口(5)分别与测试腔体连通，进气口(2)用于通入惰性气体，测试腔体中放置有用于加热待测量薄膜材料的加热板，Y型光纤(9)的共同端位于通光口(5)上方，通光口(5)与加热板的位置相对应，还包括与测试腔体相连接的温度控制器，光源发出的光束通过Y型光纤由通光口(5)入射到加热板上的待测量的薄膜材料表面。