| 发明名称 | 采用CDSEM测试图形的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种采用CDSEM测试图形的方法，其特征在于，包括：提供多个测试图形；找出所述多个测试图形中图案相似的测试图形；对多个图案相似的测试图形中的第一测试图形建立量测方案，作为参考量测方案；依次将所述参考量测方案应用于其他图案相似的测试图形。根据本发明方案，可以不必对每一个图案相似的测试图形逐一建立量测方案，这样可以节省CDSEM机台进行量测的时间，提高生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN104752251A | 申请公布日期 | 2015.07.01 |
| 申请号 | CN201310745676.9 | 申请日期 | 2013.12.30 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 王辉;程仁强 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;G03F1/44(2012.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
| 主权项 | 一种采用CDSEM测试图形的方法，其特征在于，包括：提供多个测试图形；找出所述多个测试图形中图案相似的测试图形；对多个图案相似的测试图形中的第一测试图形建立量测方案，作为参考量测方案；以及依次将所述参考量测方案应用于其他图案相似的测试图形。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||