一种扩散炉的气流均匀性检测装置

摘要

本发明涉及太阳能电池片工艺中使用的扩散炉的气流均匀性检测装置，扩散炉的炉体内装有硅片，炉体长度方向的两端分别为炉口和炉尾，该气流均匀性检测装置包括风速测量仪和置于炉体后方并沿炉体长度方向做直线运动的直线运动机构，风速测量仪的测量端从炉尾穿入炉体内且风速测量仪的测量端置于炉体内硅片的上方，而风速测量仪的另一端通过连接件与直线运动机构相连。本发明所述气流均匀性检测装置能精确测量炉体内的气流均匀性，整个检测装置结构简单，操作方便。

主权项

一种扩散炉的气流均匀性检测装置，扩散炉的炉体（6）内装有硅片（7），炉体（6）长度方向的两端分别为炉口（8）和炉尾（9），其特征是，该气流均匀性检测装置包括风速测量仪（4）和置于炉体（6）后方并沿炉体（6）长度方向做直线运动的直线运动机构，风速测量仪（4）的测量端从炉尾（9）穿入炉体（6）内且风速测量仪（4）的测量端置于炉体（6）内硅片（7）的上方，而风速测量仪（4）的另一端通过连接件与直线运动机构相连；所述直线运动机构包括固定部件（11）和固定部件（11）上方并相对固定部件（11）做往复直线运动的运动部件（10），所述风速测量仪（4）与运动部件（10）相连；所述直线运动机构为直线电机，固定部件（11）为直线电机的初级，运动部件（10）为直线电机的次级，直线电机的初级与次级上分别缠绕线圈（13），并在直线电机的初级与次级之间设有永磁体（12）。