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<p>회로 패턴 검사 장치는, 검사부의 급전 전극의 양측에 인접 또는 근접하여 복수의 소호 전극을 배열하고, 검사 대상의 도전체 패턴에 인가하는 검사 신호에 대해 위상을 시프트한 교류의 소호 신호를 각 소호 전극에 인가하여, 검사 신호에 의한 전계 방향과는 역방향의 전계 분포를 형성하고, 검사 신호에 의한 전계 분포의 하방 부분을 깎아내고, 첨예화시킨 합성 전계 분포를 형성하여, 검사 대상의 도전체 패턴에 선택적으로 급전하고, 얻어진 검출 신호로부터 도전체 패턴의 양호 결함의 적정한 판정을 실시한다.</p> |
