切断装置及切断方法

摘要

本发明提供一种切断装置及切断方法，藉由事先将被切断物冷却至与切削水相同的设定温度，从而抑制从对准时刻至进行切断期间的热变形。在双工位元工作台方式的切断装置中，由冷气生成机构将冷气供给至装载机。藉由使冷气在形成于装载机的冷却部的冷却用通道中进行流动，从而冷却固定部上吸附着的封装基板。藉由事先冷却封装基板以使与切削水的设定温度相同，从而使封装基板收缩成与进行切断的状态相同。由于在已收缩的状态下进行对准，因此在从对准时刻至进行切断期间切断线的位置不会偏移，从而能够沿切断线准确地进行切断。