闸阀及基板处理装置

摘要

提供一种闸阀及使用该闸阀的基板处理装置，该闸阀系可抑制微粒落到搬送中的基板上。闸阀(70a)，系使用于开关处理室(30a)的搬入搬出口者，其具有：壁部(71b)，形成有与搬入搬出口(61a)连通的开口部(71a)；阀体(72)，开关开口部(71a)；阀体移动部(73)，使阀体(72)在闭塞开口部(71a)的闭塞位置与从开口部(71a)退避的退避位置之间移动；第1密封部(81)，设置于壁部(71b)之开口部(71a)的周围；及第2密封部(82)，设置于阀体(72)，且在阀体(72)闭塞开口部(71a)时，在对应于第1密封部(81)的位置，与第1密封部(81)一起作用，并密封阀体(72)与壁部(71b)之间。第1密封部(81)，系具有保持从密封部分之周围脱离之微粒的微粒保持部(85)。