保形侧壁钝化;CONFORMAL SIDEWALL PASSIVATION

摘要

本发明提供一种用以将特征部蚀刻至一堆叠中之蚀刻层中的方法，该堆叠系设置在具有遮罩特征部之图案化遮罩下方。提供涂层供应分子。使涂层供应分子热解，其仅产生第一组副产物及第二组副产物，其中第一组副产物具有介于10 -6 至5x10 -3 之间的黏附系数，且其中第二组副产物包括所有由于热解步骤的其余副产物，其中所有由于热解步骤的其余副产物皆具有小于10 -6 的黏附系数。使该堆叠曝露至第一组副产物，从而导致第一组副产物沉积一涂层。将蚀刻层进行蚀刻。