发明名称 积体超导体装置及其制造方法;INTEGRATED SUPERCONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF FABRICATION
摘要 一种积体超导体装置可包含基板,和安置于所述基板上且包括较佳结晶定向的中间层。所述积体超导体装置可进一步包含安置于所述中间层上的定向超导体层,和安置于所述定向超导体层的一部分上的导电带。所述导电带可在其下方界定所述定向超导体层的超导体区,和邻近于所述超导体区的所述定向超导体层的暴露区。
申请公布号 TW201526317 申请公布日期 2015.07.01
申请号 TW103138974 申请日期 2014.11.11
申请人 瓦里安半导体设备公司 VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. 发明人 王 康妮P WANG, CONNIE P.;墨菲 保罗 MURPHY, PAUL;沙利文 保罗 SULLIVAN, PAUL
分类号 H01L39/12(2006.01);H01L39/00(2006.01) 主分类号 H01L39/12(2006.01)
代理机构 代理人 叶璟宗郑婷文詹富闵
主权项
地址 美国 US