具有分爲多个区段之支撑体的振动隔离系统及用以控制该系统之方法;VIBRATION ISOLATION SYSTEM WITH SUPPORT DIVIDED INTO SECTIONS, AND METHOD FOR CONTROLLING SAME

摘要

本发明涉及一种振动隔离系统，该系统包括一被分为数个刚性区段的支撑体，在其上安置有一可移动载台。该等区段被设置在气动轴承上，而该等各个区段的该等气动轴承的控制系彼此独立并基于该可移动载台的位置。