涂布用组成物及光阻积层体之制造方法

摘要

本发明提供一种涂布用组成物，该组成物可形成在涂布时对级差之追从性优异、同时在短波长带折射率低、且对硷水溶液之溶解性优异的膜。;一种涂布用组成物，含有含氟聚合物(A)与溶剂，该含氟聚合物(A)具有-[CX 1 X 2 -CY(-Rf-COOM)]-所示单元，且数目平均分子量为1,000~7,500。式中，X 1 及X 2 各自独立，表示氢原子、氟原子或氯原子；Y表示氢原子、氟原子、氯原子、甲基或三氟甲基；Rf表示碳-碳原子间可含有醚性氧原子之分枝状全氟伸烷基、或碳-碳原子间可含有醚性氧原子之分枝状氧全氟伸烷基；M表示氢原子或可被取代之铵离子。