太阳能电池之矽基板及其制造方法

摘要

本发明关于一种太阳能电池之矽基板之制造方法，包括有：准备一表面具有一凹凸微结构之矽基材；将该矽基材浸于一第一酸性蚀刻液中，该第一酸性蚀刻液包含有一第一浓度之金属离子以及一酸性溶液；将该矽基材浸于一第二酸性蚀刻液中，该第二酸性蚀刻液包含有一第二浓度之该金属离子以及该酸性溶液，且该第二浓度低于该第一浓度；以及移除沉积于该矽基材之凹凸微结构表面与各该奈米槽孔内之金属粒子。本发明还关于一种由前述方法制得之太阳能电池之矽基板。