静电卡盘加热测温电路及等离子体反应装置

摘要

本发明涉及一种静电卡盘加热测温电路，包括：第一回路，其上流通第一电流，第一电流流经一热敏电阻；第二回路，其上流通第二电流，第二电流或第一电流与第二电流之和流经一加热器，用于加热静电卡盘；一电压源，用于向第一回路与第二回路供电。其将加热电路和测温电路合为一个加热测温电路，简化了电路结构、使系统更加稳定可靠，且减少了对射频功率造成的损耗，提高了反应腔内等离子体的稳定性。