光纤雷射之雷射尖峰退火系统及其方法;LASER SPIKE ANNEALING USING FIBER LASERS

摘要

本发明系关于一种光纤雷射之雷射尖峰退火系统及其方法。雷射尖峰退火方法系用于一晶圆表面，包括：产生复数个分别输出连续波输出辐射光束的光纤雷射系统，此些光束部分地重叠于晶圆表面而形成具有一长轴及沿长轴之一长度的一长型退火图像；加热晶圆表面之至少一区域至一预退火温度；以及于晶圆表面及预热区域内以长型退火图像进行扫描，俾使长型退火图像之停留时间介于30奈秒至10毫秒之间，并使晶圆表面升温至一退火温度。; heating at least a region of the wafer to a pre-anneal temperature TPA; and scanning the elongate annealing image over the surface of the wafer and within the pre-heat region so that the elongate annealing image has a dwell time tDin the range 30 nstD10 ms and raises the temperature of surface of the wafer to an annealing temperature TA.