| 发明名称 |
经取代之芳基鎓材料;SUBSTITUTED ARYL ONIUM MATERIALS |
| 摘要 |
提供包含以至少一个二酯部分取代之碳环系基或杂芳香族基的酸产生剂。此等酸产生剂特别有用于用作为光阻组成物成分。 |
| 申请公布号 |
TW201524947 |
申请公布日期 |
2015.07.01 |
| 申请号 |
TW103133462 |
申请日期 |
2014.09.26 |
| 申请人 |
罗门哈斯电子材料有限公司 ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS LLC |
发明人 |
拉贝美 保罗Ｊ LABEAUME, PAUL J. |
| 分类号 |
C07C381/12(2006.01);G03F7/004(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
C07C381/12(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄陈昭诚 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 US |
