凸块硏磨方法及装置

摘要

本发明系一种凸块研磨方法及装置，包括：提供一具有挠性吸嘴之以负压吸附待研磨元件的定位治具；提供一以平面之研磨面与该待研磨元件接触研磨之砂轮；使砂轮研磨时待研磨元件任一侧的高起被研磨面压抵而下移，另一侧则上翘至与研磨面贴抵，而在研磨过程中维持一动态之平衡，以适应挠曲变形的待研磨元件进行其上类如锡球之金属凸块研磨。