研磨终点检测方法及研磨终点检测装置

摘要

使研磨终点之检测精度提高。本发明之研磨终点检测方法研磨包含奈米碳材料与透光材料之混合膜的研磨对象物，而且在研磨对象物上照射光(步骤S102)。继续，研磨终点检测方法从研磨对象物接收反射之光(步骤S103)。继续，研磨终点检测方法对接收之反射光进行信号处理(步骤S104)。继续，研磨终点检测方法依据信号处理结果判定研磨对象物之研磨终点(步骤S105)，来检测研磨终点(步骤S106)。