光学系统、曝光装置及制造设备的方法

主权项

一种光学系统，系在沿着光路按顺序配置：平面反射镜、凹面反射镜、凹凸透镜以及凸面反射镜；在前述凹凸透镜与前述凸面反射镜之间形成有空间；前述光学系统具备用来分离包含前述平面反射镜与前述凹面反射镜之间的光路的空间、和前述空间的构件。