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发明名称 正型感光性组成物及使用它之图案形成方法
摘要
申请公布号 TWI490650 申请公布日期 2015.07.01
申请号 TW102107559 申请日期 2006.06.23
申请人 富士软片股份有限公司 发明人 儿玉邦彦;西山文之
分类号 G03F7/039;G03F7/004;H01L21/027 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人 何金涂 台北市大安区敦化南路2段77号8楼
主权项 一种正型感光性组成物，其包括：(A)化合物，其在以光化射线或放射线照射时可产生酸；(B1)树脂，其在酸作用下可分解，于硷显影剂中溶解度增加；及(B2)树脂，其具有(b)在硷作用下可分解产生硷溶性基之基，而且不具有在酸作用下可分解之基；其中作为成分(B2)之树脂的含量按作为成分(B1)之树脂计为1至20质量%；作为成分(B2)之树脂系其中所有重复单元均以(甲基)丙烯酸酯重复单元构成之树脂。
地址 日本
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