产生二级图案以供微影处理的方法和使用其的图案产生器

主权项

一种藉由多个小射束来产生一个二级图案以供微影处理之方法，该方法包含：提供一呈向量格式之图案；将该向量格式图案转换成一呈像素图格式之图案；及藉由在该像素图格式图案上应用误差扩散来形成一个二级图案。