| 发明名称 |
基板的处理系统、传输系统和传输方法以及横向移动室 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI490971 |
申请公布日期 |
2015.07.01 |
| 申请号 |
TW098144529 |
申请日期 |
2009.12.23 |
| 申请人 |
美国精曜科技公司 |
发明人 |
雷仲礼;麦华山;刘弘苍;朴乾兑;朴相珣;罗应聪;吴子仲;朱乐聪;罗纳德 罗得 罗斯;申镇宇;王晓明 |
| 分类号 |
H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
| 主权项 |
一种用来处理一或多个基板之系统，其包含：一或多个横向移动室，其可在二或多个制程模组之间移动，并将该一或多个基板运送给该二或多个制程模组的至少其中之一，其中当各该一或多个横向移动室在该二或多个制程模组之间移动或将该一或多个基板运送给该二或多个制程模组时，该一或多个横向移动室系维持具有一特定之气体条件，其中，该一或多个横向移动室更包括一接合机组，该接合机组包括一真空凸缘装置以及一可延展膨胀的薄膜，该真空凸缘装置透过多个气压缸夹钳而配置于一制程反应室的一平坦密封表面上。
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| 地址 |
美国 |
