探针卡针尖端损耗量的自动测量方法及仪器

摘要

本发明公开了一种晶圆特性测试仪，其探针台的载片台边缘设置有一个用于形成电信号触发回路的接触感应模块。本发明还公开了用上述晶圆特性测试仪自动测量探针卡针尖端损耗量的方法。本发明通过在载片台边缘增加一个接触感应模块，通过接触感应回路反馈探针台移动量，监控针尖端位置，从而在不需要卸载探针卡的情况下，实现了针尖端损耗量的自动测量，提高了针尖端状态监控的有效性和精准度。

主权项

晶圆特性测试仪，其特征在于，该晶圆特性测试仪的探针台的载片台边缘设置有一个用于形成电信号触发回路的接触感应模块。